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新風經過初效，中效，和高效過濾器(99.995%相對于0.5UM)將清潔的空氣送入超凈間，在超凈間循環后經超凈間的回風口回到暖通系統后再行過濾。如此循環帶出空氣中的微粒子，逐步使車間的潔凈度達到設計要求。

嚴重遵守以下標準：

各行業凈化級別標準

行業分類 級別 0.1 1.000 10.000 100.000   10 100 1.000 10.000 100.000 半 導 體 工 業 拉單晶 ------ ------       擴散   ------       腐蝕、光刻、表面處理、金屬蒸發 ------ ------       組裝試驗   ------ ------ ------ ------ 原料     ------     研磨   ------       包裝         ------ 半成品貯藏       ------   激光工業 氣體激光   ------       固體激光 ------ ------       半體激光、激光手術刀   ------       光 學 儀 器 鏡片研磨   ------ ------ ------ ------ 刻標   ------       醫用照相機加工、配鏡、鏡頭組裝   ------       膠片制造、干燥       ------   縮微膠片、顯像、干燥   ------ ------     組裝   ------ ------ ------   涂漆、       ------ ------ 記 時 精 密 儀 器 電子表、零件組裝、火箭零件加工   ------       人造衛星控制器 ------ ------       高可靠性部件、裝置   ------ ------     微型軸承 ------ ------       普通軸承         ------ 組裝、檢查   ------ ------ ------ ------ 電子計算機 磁鼓、磁帶、磁盤   ------       加工、組裝、試驗、檢查   ------ ------ ------ ------ 電電 氣子 式機 計械 測　 器　 顯象管   ------ ------     高可靠管、光導攝像管   ------       印制版       ------   小型繼電器   ------ ------     精密儀器儀表   ------ ------ ------   零件、加工、組裝、檢查   ------ ------ ------ ------ 美國聯邦標準FS209E的空氣潔凈度級別 級別名稱 級別限制 0.1υm 0.2υm 0.3υm 0.5υm 5υm 容積單位 容積單位 容積單位 容積單位 容積單位 國際單位 英制單位 M3 ft3 M3 ft3 M3 ft3 M3 ft3 M3 ft3 M1   350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283     M1.5 1 1240 35.5 265 3.50 106 3.00 35.3 1.00     M2   35000 99.1 757 21.5 309 8.75 100 2.83     M2.5 10 12400 350 2650 75.5 1060 30.0 353 10.0     M3   35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3     M3.5 100     26500 750 10600 300 3530 100     M4       75700 2140 30900 875 10000 283     M4.5 1000             35300 1000 247 7.00 M5               1000 2830 618 17.5 M5.5 10000             35300 10000 2470 70.0 M6               1000000 28300 6180 175 M6.5 100000             35300 100000 24700 700 M7               1000000 28300 61800 1750